OP5340(膜厚儀)

17c起草官网半導體專注(zhù)於半導體工藝(yì)設(shè)備的研發、製造、銷售(shòu)及售後一體化服務,提(tí)供半導體廠商工藝設備的一(yī)站式解決方案。

關(guān)鍵詞:

半導(dǎo)體設備、半導體工藝(yì)

所屬分類(lèi):

產品谘詢:

產品描述(shù)

Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶圓膜厚測量,通過測量單層或多層晶圓上薄膜(mó)的光學(xué)參數(反射光和建模的薄(báo)膜參數(shù)),計(jì)算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種(zhǒng)不同的(de)技術來測量薄膜厚度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行(háng)測量。

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