TP630(離子注入)
17c起草官网半導體專注於半導體工藝設(shè)備的研發、製造、銷售及售後一體化服務,提供(gòng)半導體廠商工藝設備的一站式解決方案。
關鍵詞:
半(bàn)導體設備、半導體工藝
所屬分類:
產品描述
TP630 利用 PUMP 激光器對晶圓表麵加熱來測量反射(shè)晶格 damage 程度熱波特征間(jiān)接計算出與離子植入量成線性關係的 TW 值(zhí)(infinity)。
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產品詢價
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