OP5240I（膜厚儀）
17c起草官网半導體專注於半導體工藝設備的研（yán）發、製造、銷售及售（shòu）後一體化服務，提供半導體廠商工藝（yì）設備的（de）一站式解決方（fāng）案（àn）。
關鍵詞：
半導體設備、半導體工藝
所屬分類：
產品描述
Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶圓膜厚測量，通過測量單層或多層晶圓上薄膜（mó）的光學參數（反射光和建模的薄膜參數），計算出薄（báo）膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來（lái）測量薄膜（mó）厚度以及反射率，使用 laser，white light lamp，D2 lamp 等光源進行測量。
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